干式真空泵又被稱為干式機械泵，指的是泵能從大氣的壓力下抽氣，又能夠將被抽的氣體直接的排到大氣中去，泵腔內無油或者其他的工作介質。干式機械真空泵的應用比較的廣泛。主要有以下的幾個方面：

　　1、干式真空泵可以應用在低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備的工藝之中；
　　2、該設備可以應用在半導體刻蝕的工藝上。在這些生產工藝之中往往可能會用到或者生成腐蝕性的氣體以及研磨微粒；
　　3、該設備可以用在除半導體工藝之外的某些產生微粒的工藝上，如果不希望微粒混入泵油之中，能將微粒排出泵之外，那么使用一定型式的干式機械真空泵就可以滿足該要求；
　　4、干式真空泵還可以用在化學工業、醫藥工業以及食品工業中的蒸餾、干燥和脫泡以及包裝等方面，如果想要防止有機溶劑造成的污染，那么比較適合使用干式真空泵；
　　5、該設備還能夠用做一般無油清潔的真空系統其前級泵，以防止油的污染。
　　以上為干式真空泵的應用范圍，該設備因其良好的工作性質被廣泛的應用在了各個領域。